Renrommet (ISO 5) er på hele 400 kvadratmeter og inneholder avansert utstyr for deponering, mønstring, etsning, sammenstilling og konnektering. I tillegg har Institutt for mikrosystemer laboratorier for materialbehandling og -karakterisering, måling (elektrisk og optisk) samt BioMEMS-laboratorier for forskning på biologiske systemer. Det finnes også utstyr for enkel miljøtesting av elektronikk.
MST-Lab, som står for mikrosystemteknologi, er også en del av Norwegian Micro- and Nanofabrication Facility (NorFab) sammen med NTNU NanoLab, UiO og SINTEF MiNaLab.